Plantillas de pulido

La plantilla sirve para sujetar las obleas mediante la tensión de la película de agua en lugar de con cera. En comparación con la forma de sujetar las obleas con cera, el uso de plantillas para sujetar la oblea es de mayor eficiencia y menor costo de producción. El bolsillo de plantillas se puede fabricar en varias formas y profundidades para sujetar piezas específicas.

Para controlar la precisión de la geometría de las obleas pulidas, a menudo se adhieren plantillas a una placa de cerámica con su cinta trasera de PSA. De acuerdo con los materiales de las obleas y las características de las lechadas, se pueden elegir diferentes tipos de películas de soporte. Para el pulido de oblea de Si y obleas de zafiro, se recomienda utilizar una película de respaldo de celda abierta, mientras que para el pulido de GaAs, InP, CZT, etc., donde la suspensión de pulido es más corrosiva, se recomienda una película de respaldo de celda cerrada.

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