Sistema de gestión de lodos de pulido
Las máquinas pulidoras químico-mecánicas de la serie LSTD CP están diseñadas para satisfacer la demanda precisa de pulido químico-mecánico de obleas semiconductoras como Si, Ge, GaAs, InP, GaN, SiC, etc. Las máquinas se caracterizan por su estabilidad dinámica y su aplicación personalizada. Un equipo de diseño profesional, un equipo de investigación y desarrollo de procesos y un equipo de construcción de maquinaria, así como las instalaciones necesarias calificadas, brindan una garantía para la entrega exitosa de los equipos semiconductores de la serie CP.
Sistema dispensador de lechada de pulido (CDS):
Funciones típicas:
▲ gestión de almacenamiento de barriles de líquido crudo
▲ solución de transporte automático (remoto) de stock
▲ suministro seguro de solución madre
▲ mantenimiento sin paradas del sistema de suministro de solución madre
Sistema de suministro central y mezcla de lechada de pulido:
Funciones típicas:
▲ dilución cuantitativa de la solución de pulido
▲ mezcla de solución de pulido
▲control de temperatura del líquido de pulido
▲Función anticristalización y limpieza del barril y tubería del líquido de pulido.
▲filtración y transporte remoto del líquido de pulido terminado
▲ mantenimiento sin parada del sistema
Sistema de suministro y recirculación de lechada de pulido:
Funciones típicas:
▲ dilución cuantitativa de la solución de pulido
▲ mezcla de solución de pulido
▲control de temperatura del líquido de pulido
▲Función anticristalización y limpieza del barril y tubería del líquido de pulido.
▲filtración y transporte remoto del líquido de pulido terminado
▲ mantenimiento sin parada del sistema
Etiqueta: sistema de gestión de lodos de pulido, fabricantes, proveedores, fábrica de sistemas de gestión de lodos de pulido de China
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